高純氣體氣瓶架-高純氣體處理設(shè)備高純氣體氣瓶架(GR)，GR(Gas Rack)是為了滿足微電子半導(dǎo)體生產(chǎn)、科研要求而設(shè)計(jì)的氣體輸送中轉(zhuǎn)系統(tǒng)。GR一般由架子、閥門(mén)盤(pán)面、管件、控制器等集中在一起組成。
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